Etude des mécanismes de gravure directe du métal pour le BEOL des nœuds ultimes sur SOI

CEA; Grenoble; Sur place; EUR 20 000 - 40 000; Plein temps

Résumé du poste

Une entreprise de recherche technologique à Grenoble recherche un candidat pour une thèse sur les mécanismes de gravure directe du métal dans le cadre de l'European Chips Act. La thèse concerne le développement de solutions innovantes pour les circuits électroniques avancés. Une formation en Physique ou Génie électrique est requise, et le poste commence le 01/10/2025. Le candidat travaillera avec des équipements de dernière génération et un environnement de travail innovant.

Qualifications

• Master2 en Physique, Nanosciences et nanotechnologies, Sciences des matériaux ou Génie électrique.

Responsabilités

• Développer une brique technologique BEOL pour les nœuds avancés par gravure directe du métal.
• Proposer et réaliser une intégration innovante.
• Effectuer une analyse du cycle de vie (ACV) comparative.

Description du poste

Description du sujet de thèse

Domaine Défis technologiques

Sujets de thèse Etude des mécanismes de gravure directe du métal pour le BEOL des nœuds ultimes sur SOI

Contrat Thèse

Description de l'offre Le sujet s'inscrit dans le déploiement des technologies silicium au niveau européen (European Chips Act) porté par le CEA-Leti. Le sujet se focalisera notamment sur la mise à disposition de briques technologiques avancées pour le routage électrique (Back End of Line) des dispositifs logiques et analogiques. La mise au point de circuits toujours plus performants requiert des interconnexions aux dimensionnels de plus en plus agressifs. L'utilisation de matériaux traditionnels de routage comme le cuivre est alors remise en question, de même que l'architecture des briques de back-end of line (BEOL). Ce sujet de thèse apporte une approche en rupture, nécessaire afin d'adresser ces dimensionnels ultimes. L'objectif de cette thèse est donc de développer une brique technologique BEOL pour les nœuds avancés par gravure directe du métal. Après une simulation préalable des propriétés électriques des interconnexions réalisées avec différents métaux, le travail consistera à proposer et réaliser une intégration innovante. Il s'agira dans une première phase de définir le design des structure de test électrique et d'établir un schéma d'intégration. Ensuite, le travail se concentrera sur l'étude de la gravure directe du métal sélectionné en utilisant des procédés écoresponsables, tout en préservant les performances des procédés et du dispositif final. Le.la candidat.e pourra s'appuyer sur la cellule Eco-innovation pour réaliser une analyse du cycle de vie (ACV) comparative de cette brique. Le contrat de thèse est d'une durée de 3 ans et se déroulera dans les salle-blanche du CEA-Leti. Pour mener à bien cette étude, le.la candidat.e aura à sa disposition des équipements de derrière génération et un environnement de travail de pointe.

Université / école doctorale Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)

Université Grenoble Alpes

Localisation du sujet de thèse

Site Grenoble

Critères candidat

Formation recommandée Master2 en Physique, Nanosciences et nanotechnologies, Sciences des matériaux ou Génie électrique

Demandeur

Disponibilité du poste 01/10/2025

Personne à contacter par le candidat

DUBOIS Jérôme [e-mail]
CEA
DRT/DPFT/SPAT/LGRA
17 avenue de Martyrs 38054 Grenoble
04.38.78.56.42

Tuteur / Responsable de thèse

CHEVOLLEAU Thierry [e-mail]
CEA
DRT/DPFT/SPAT/LGRA
17 avenue de Martyrs 38054 Grenoble
04.38.78.69.85

En savoir plus

https://www.leti-cea.com/cea-tech/leti/english/Pages/Welcome.aspx