Simulation et caractérisation de structures intégrées pendant et après l'étape de recuit laser [...]

CEA; Grenoble; Sur place; EUR 40 000 - 60 000; Plein temps

Résumé du poste

Une opportunité de thèse à CEA à Grenoble, centrée sur la simulation et la caractérisation de structures intégrées utilisant le recuit laser. Le projet vise à résoudre des défis technologiques dans les technologies microélectroniques avancées, avec un soutien de laboratoires spécialisés et un environnement de simulation TCAD. Les candidats doivent avoir un Master 2 en matériaux ou domaines connexes.

Qualifications

• Formation recommandée en matériaux/semiconducteurs/nanotechnologies.
• Compétences en simulation numérique et science des matériaux souhaitées.

Responsabilités

• Simulation et caractérisation de structures intégrées pendant et après le recuit laser.
• Recherche de solutions intégratives pour évaluer les effets de température.

Connaissances

Simulation numérique

Science des matériaux

Procédés de fabrication microélectronique

Formation

Master 2 en matériaux/semiconducteurs/nanotechnologies

Description du poste

Description du sujet de thèse

Domaine

Défis technologiques

Sujets de thèse

Simulation et caractérisation de structures intégrées pendant et après l'étape de recuit laser millisecond

Contrat

Thèse

Description de l'offre

Les procédés de recuit laser sont aujourd'hui utilisés dans un large spectre d'applications au sein des technologies microélectroniques les plus avancées. Que ce soit dans le contexte des composants CMOS planaires avancés ou des technologies d'intégration 3D, les caractéristiques spécifiques du recuit laser permettent d'atteindre des températures très élevées en des temps très courts, à l'échelle de la puce, et de travailler dans des conditions hors d'équilibre thermodynamique. Cela présente de nombreux avantages en terme d'effets physiques (activation de dopants élevés avec de faibles diffusions, transformation de siliciures, etc.), mais aussi de budget thermique (des températures élevées qui restent en surface du matériau). Cependant, ce type de recuit optique ultracourt peut générer des variations de température dues à des effets de motif à la surface de la puce entre deux zones aux propriétés radiatives et/ou thermiques différentes. Ces différences de température peuvent altérer les performances électriques des composants et doivent donc être évaluées et surmontées. Une partie de ce travail consistera, à l'aide d'une étude bibliographique, à trouver des solutions intégratives (design, couche absorbante, etc.) afin de résoudre ce problème. Par ailleurs, au LETI, une vaste expertise en recuit laser nanoseconde (NLA) est acquise depuis de nombreuses années, et les équipes procédés sont en phase d'acquisition d'un équipement laser milliseconde (DSA). Grâce à la simulation numérique, ces travaux constitueront l'une des briques essentielles du développement du recuit laser milliseconde au LETI, indispensable à la feuille de route des technologies avancées.

Cette recherche interdisciplinaire englobera des domaines tels que la simulation numérique, la science des matériaux et les procédés de fabrication microélectronique. Vous bénéficierez du soutien de laboratoires spécialisés en procédés d'intégration, ainsi que d'environnements de simulation TCAD.

Université / école doctorale

Electronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)
Université Grenoble Alpes

Localisation du sujet de thèse

Site

Grenoble

Critères candidat

Formation recommandée

Master 2 matériaux/semiconducteurs/nanotechnologies

Demandeur

Disponibilité du poste

01/09/2025

Personne à contacter par le candidat

ROYET Anne-Sophie [e-mail]
CEA
DRT/DCOS//LSM
17 rues des Martyrs
38000 Grenoble
0438783254

Tuteur / Responsable de thèse

FENOULLET-BERANGER Claire [e-mail]
CEA
DRT/DPFT
CEA-Grenoble
17 rue des Martyrs
38054 GRENOBLE CEDEX
04 38 78 56 77

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