Description du sujet de thèseDomaineDéfis technologiques
Sujets de thèseÉtude de résines grayscales et optimisation des procédés de lithographie pour des applications optiques sub-microniques.
ContratThèse
Description de l'offreLa photolithographie grayscale est un procédé utilisé depuis plusieurs dizaines d'années pour la réalisation de structures tridimensionnelles sur des substrats semiconducteurs, en particulier dans les domaines de l'optique et de l'opto-électronique. Cette technologie permet de réaliser des motifs 3D facilement transférables à l'industrie, grâce à l'utilisation d'équipements de lithographie.
Après avoir atteint une forte expertise sur la réalisation de structures 3D supérieures au micron grâce à l'utilisation d'équipements d'insolation en I-line (365nm), le LETI souhaite développer son expertise grayscale dans l'UV profond (248nm, 193nm et 193nm immersion) afin d'atteindre des motifs submicroniques avec pour objectif l'état de l'art mondial.
Cette thèse sera consacrée à l'amélioration des connaissances physico-chimiques des nouvelles résines grayscales, dans le but d'améliorer les performances des procédés de lithographie, mais également de prévoir le développement des gravures associées et des nouveaux modèles optiques pour les masques.
Vous rejoindrez l'équipe du laboratoire de lithographie du CEA-LETI et serez également amené à échanger avec d'autres équipes (gravure, simulation optique). Vous aurez accès aux équipements de pointe installés dans les salles blanches, ainsi qu'à une plate-forme de nano-caractérisation pour mener à bien ces travaux de thèse dans une forte dynamique expérimentale.
Université / école doctoraleElectronique, Electrotechnique, Automatique, Traitement du Signal (EEATS)
Université Grenoble Alpes
Localisation du sujet de thèseSiteGrenoble
Critères candidatFormation recommandéeMaster 2 ou école d'ingénieurs en matériaux ou nanotechnologies.
DemandeurDisponibilité du poste01/10/2025
Personne à contacter par le candidatBAZIN Arnaud < email supprimé pour raison de sécurité >
CEA
DRT/DPFT/SPAT/LLIT
CEA LETI
17 Avenue des Martyrs
38054 Grenoble Cedex 9
04.38.78.34.74
Tuteur / Responsable de thèseGOURGON Cécile < email supprimé pour raison de sécurité >
CNRS - Plato
DRT/LETI/DCOS/LTM
CEA-LETI, MINATEC-Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9
FRANCE
04.38.78.98.37
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