Caractérisation électrique et matériau approfondie d'espaceurs à faible constante diélectrique [...]

CEA Université Grenoble Alpes Laboratoire; Grenoble; Sur place; EUR 40 000 - 60 000; Plein temps

Résumé du poste

Le CEA-Leti propose une thèse de doctorat axée sur le développement de transistors FDSOI et des matériaux innovants. Le/la candidat(e) aura l'occasion de travailler sur des défis techniques avancés, de mener des analyses approfondies et de collaborer avec des équipes pluridisciplinaires dans un environnement de recherche stimulant. Une expérience en microélectronique et des connaissances en caractérisation des matériaux seront essentielles.

Qualifications

• Capacité à travailler sur des matériaux de microélectronique et des procédés avancés.
• Expérience ou formation en analyse et caractérisation de matériaux souhaitée.
• Motivation pour relever des défis techniques et participer à des projets innovants.

Responsabilités

• Caractérisation électrique des matériaux d’espaceurs et transistors.
• Collaboration avec des experts pour le développement et la caractérisation de nouveaux matériaux.
• Participation aux projets de recherche multi-disciplinaires.

Connaissances

Connaissance des matériaux

Microélectronique

Analyse de surface

Caractérisation électrique

Formation

Master en Ingénierie ou domaine similaire

Outils

Ellipsométrie

XPS

FTIR

XRR

Description du poste

Dans le cadre de l'European Chip Act, le CEA-Leti s'engage à façonner l'avenir de l'électronique en développant une nouvelle génération de transistors grâce à l'architecture FDSOI. Nous recherchons un(e) thésard(e) motivé(e) pour nous aider à relever des défis passionnants liés aux performances avancées de ces transistors. Vous aurez l'opportunité de participer à un projet de pointe axé sur le développement de matériaux innovants, avec l'ambition de créer une technologie de premier plan en matière d'efficacité énergétique.

Alors que nous repoussons les limites des transistors planaires à 10 nm et 7 nm, nous faisons face à d'importants défis physiques, en particulier la réduction des éléments parasites tels que la capacitance et la résistance d'accès, qui sont essentiels pour minimiser les pertes d'énergie et optimiser les performances. Le matériau isolant utilisé pour lesespaceurs jouent ici un rôle clé sur ces performances et de nombreux candidats ont été proposés pour remplacer les solutions conventionnelles avec de plus faibles permittivités (SiN, SiCO, SiCON, SiCBN). Néanmoins leur intégration introduit également des défauts inhérents entrainant la capture de charges ou la présence d'états d'interface indésirables qui nuisent à la performance finale des transistors.

L'objectif de cette thèse est de mener une enquête approfondie et une caractérisation électrique (CV, IV, BTI, HCI, etc.) du matériaux d’espaceur (interface, volume), en fournissant une analyse détaillée des performances du transistor et de ses mécanismes sous-jacents. Une caractérisation innovante par mesure de stress CV ultra-rapide sur des échantillons diélectriques sera également réalisée et la corrélation entre la performance de piégeage et les paramètres de dépôt utilisés dans leur fabrication sera établie. De plus, le candidat collaborera étroitement avec des experts pour contribuer au développement du dépôt couches minces et à la caractérisation de nouveaux matériaux par analyse de surface et caractérisation des films minces (ellipsométrie, FTIR, XRR, XPS, etc.).

Tout au long de la thèse, vous acquerrez un large éventail de connaissances, couvrant les matériaux et processus de la microélectronique, la conception intégrée analogique, tout en relevant le défi unique de la technologie FDSOI avancée à 7-10 nm. Vous collaborerez avec des équipes pluridisciplinaires pour développer une compréhension approfondie des dispositifs FDSOI et analyserez les mesures existantes. Vous ferez également partie d'un laboratoire multidisciplinaire, travaillant aux côtés d'une équipe composée de plusieurs chercheurs permanents, explorant un large éventail d'applications de recherche.

Ce thèse offre l'opportunité unique de participer à un des projet phare et ambitieux du CEA-LETI. Si vous êtes curieux et avide de relever des défis, cette opportunité est faite pour vous !

Pôle fr : Direction de la Recherche Technologique

Pôle en : Technological Research

Département : Département des Plateformes Technologiques (LETI)

Service : Service des procédés de Dépôts

Laboratoire : Laboratoire

Date de début souhaitée : 01-10-

Ecole doctorale : Ingénierie - Matériaux - Environnement - Energétique - Procédés - Production (IMEP2)

Directeur de thèse : JOUSSEAUME Vincent

Laboratoire : DRT / DPFT

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